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輪廓測(cè)量系統(tǒng)Z1軸（檢出器）測(cè)量范圍60 mm（水平狀態(tài)±30mm） Z1軸（檢出器）測(cè)長(zhǎng)單元RT檢出器 Z1軸（檢出器）分辨力0.04μm 直線度（X軸水平姿勢(shì)）0.8μm/100 mm